速度均匀性是指位移台在恒定指令速度下运行时，实际速度与目标速度的偏差程度，是运动过程中速度变化的稳定性，通常以速度波动率或相对误差来衡量。这一指标直接影响了位移台的动态性能，在高精度应用中尤其重要。
测试方法：在全行程范围内以设定的速度运行，通过位移台的光栅尺实时采集速度数据。
